秦代，深泽县境属巨鹿郡；汉高帝八年，深泽为侯国，属中山郡。

景帝三年，中山郡改称中山国，辖深泽。

汉武帝元朔五年，除深泽侯国，改为深泽县。

西汉，深泽改称南深泽县，隶涿郡。

东汉时仍称南深泽，隶涿郡。

延光元年，乐成国改名安平国隶安平。

延熹元年改安平为博陵郡，南深泽隶博陵。

三国时，南深泽为魏地，隶博陵郡。

晋，南深泽隶博陵国。

北魏时，去“南”字为深泽县，隶博陵。

太平真君七年安国县省入深泽县。

北齐、北周时，深泽县，归入博陵郡安平县。

隋开皇六年复置深泽县，治所在今治，属定州。

唐武德四年复置定州。

天宝元年改定州为博陵郡，隶博陵；干元元年，复置博陵邪为定州，隶定州。

景福二年二月，置祁州于无极，深泽隶祁州。

五代承唐旧制，深泽隶祁州。

宋代，深泽县初隶祁州。

金代，深泽县属祁州。

元世祖至元二年省深泽县入束鹿县，隶保定路祁州。

明代，深泽属北直隶保定府祁州。

清代，深泽初隶保定府祁州。

雍正十二年改属定州。

1913年直隶省下设四道：津海道、大名道，口北道、范阳道。深泽属范阳道。

1914年范阳道改名保定道，深泽属保定道。

1928年废道制，深泽改属河北省。

1938年属晋察冀边区冀中区第二专署。

1940年12月属晋察冀边区冀中区第八专署。

1944年，属晋察冀边区冀中区第七专署。

1947年，属晋察冀边区冀中区第十一专署。

1948年2月，属晋察冀边区冀中区第九专区。

1949年8月1日，河北省人民政府成立，深泽县属河北省定县专署。

1954年6月18日，定县专署撤销，深泽县划归为石家庄专署。

1958年11月12日，撤销深泽县并入束鹿县。

1961年5月5日原深泽从束鹿析出并入晋县。

1962年1月1日从晋县析出，恢复深泽县治，仍属石家庄专署至今。