解放初期属山南乡。
1952年成立惠山镇。
1955年改为惠山街道。
1958年6月由西新区划入北塘区。
1958年10月惠山街道与西新街道(1955年设立)、丁降里街道合并称惠山公社。
1960年4月改称太湖区公社锡惠分社。
1962年2月恢复惠山街道、西新街道。
1965年西新街道和惠山街道合并为惠山街道。
1978年12月以京航新运河为界分为工农兵街道(1981年改西新街道)和惠山街道。
1992年4月惠山街道和盛岸街道合并称惠山街道。
1996年,惠山街道面积3.4平方千米,人口3.5万人,辖惠钱一、惠钱二、惠泉山、下河塘、听松坊、惠山浜、惠营、锡园、后蓉湖庄、蓉湖新村、盛岸一、盛岸二、盛岸三、盛岸四、盛东、盛南、盛西、盛北、湖光、元康、新惠路21个居委会;西新街道面积1.1平方千米,人口2.2万人,辖西直街、李巷、锡惠弄、东棉花巷、西棉花巷、西康路、兴隆桥、龙船浜、温巷、高墩、和新里、李家浜、蓉湖庄、五里街、五里南、五里北16个居委会。
2004年3月,惠山街道和西新街道合并为惠山街道。辖棉花巷、兴隆桥、五里新村、盛岸一村、盛岸二村、惠畅里、新惠路、蓉湖、惠泉山9个社区和惠营家委会。