人工合成的一些含有卤族元素的化合物是造成平流层臭氧损耗的最重要因素，这些造成臭氧层破坏的化合物统称为臭氧层损耗物质。1987年通过的关于消耗臭氧层物质的《蒙特利尔议定书》对臭氧层损耗物质作了明确的规定，1990年通过的《伦敦修正案》和1992年的《哥本哈根修正案》又作了进一步的补充。目前的臭氧层损耗物质包括：
（1）氟氯化碳和哈龙；
（2）其他全卤氟氯化碳；
（3）四氣化碳和甲基氯仿；
（4）氟氯烃类；
（5）甲基溴。